洁净厂房的地板系统除了需要给在这个区域工作的人们提供稳定的立足点外,还要提供更多东西,例如把洁净的空气送入房间,支撑加工艺设备,为必要的设备维修提供方便的通道,并且还要具备坚固的表面保证设备可以在上面进行改造。洁净厂房的地板也提供了电力系统的接地,起到传导和静电耗散的作用,消除ESD积累。
洁净厂房的地板成为整个洁净厂房中最重要的组成部分。然而,很多设备经理或工具安装人员,在使用洁净厂房时都会碰到地板带来的麻烦。举个例子,人们要进入地板下面的空间时,就会认识到--由于公差过于精密——需要很大的力量才能打开地板块;然后,在把地板块放回原处的时候,通常地板块无法完全复原,不得不用脚用力在上面跺。而且,在使用工具翻开地板块的时候,经常会损坏它们。
很明显,随着时间的推移,这类原因和其他各种因素促使人们寻找一种不同的方法,设计和建造洁净厂房的地板。